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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:2 2001.05[民90.05]
頁31-35
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題 名
汞探針量測系統及其在介電薄膜特性分析上之應用簡介
作 者
許倬倫
;
劉柏村
;
賴明志
;
戴寶通
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷 期
8:2 2001.05[民90.05]
頁 次
頁31-35
分類號
448.552
關鍵詞
汞探針量測系統
;
介電薄膜
;
半導體工業
;
語 文
中文(Chinese)
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