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| 題 名 | 半導體廠黃光區空氣中有機混存物分析方法 |
|---|---|
| 作 者 | 施慧中; 鍾瑩; 余榮彬; | 書刊名 | 弘光醫專學報 |
| 卷 期 | 28 1996.10[民85.10] |
| 頁 次 | 頁219-234 |
| 分類號 | 341.92 |
| 關鍵詞 | 半導體廠; 作業環境測定; 脫附效率; 破出測試; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本研究選擇於半導體黃光區中用量較大之五種勞委會列管化合物:丙酮、異丙醇、乙酸正丁酯、二甲苯和乙二醇單乙醚醋酸酯為建立分析參考方法之研究對象,期能提供代檢服務業或工廠作為例行環境檢測方法之參考。活性碳管(100mg/5Omg)和被動式採樣器分別為採集介質,並以氣相層析儀測試分析。結果以活性碳管配合內含5%(v/v)2-丁醇之二硫化碳的組合所得脫附效率較佳。在混合狀態下五種化合物之脫附效率約為93%至101%,且變異係數小於3.5%。於22℃,50℃相對濕度及200mL/min之採樣流量率下,建議之最大採樣體積為9.6L。於5冷藏貯放條件下,混合樣品15天後之回收率除丙酮外均可達90%以上。本方法除已由其他兩家認可實驗室驗證確認,亦已實際應用於現場之環境測定。 |
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