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題 名 | Feedback Simulation and Correction of Duct Design for Acidity Exhaust System in a Semiconductor Factory=半導體廠酸性排氣系統導管設計之回饋模擬與修正 |
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作 者 | 陳文亮; 林茂青; 謝振傑; 陳希立; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 22:6 2001.12[民90.12] |
頁 次 | 頁527-535 |
分類號 | 446.7 |
關鍵詞 | 風管; 半導體廠; 酸性排氣系統; 導管設計; 回饋模擬; 修正; Duct design; Semiconductor factory; Exhaust system; HVAC; |
語 文 | 英文(English) |