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來源資料
真空科技
7:3/4 民83.11
頁10-14
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題名
以五族有機金屬源取代五族氫化物應用在MOCVD磊晶成長
作者姓名(中文)
鄒文正
;
蘇炎坤
;
書刊名
真空科技
卷期
7:3/4 民83.11
頁次
頁10-14
分類號
448.552
關鍵詞
有機金屬
;
氫化物
;
磊晶成長
;
MOCVD
;
語文
中文(Chinese)
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