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題 名 | The Neural Network Implementation in Pattern Recognition of Semiconductor Etching Process=類神經網路應用於半導體蝕刻製程終點圖形之辨識 |
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作 者 | 陳文欽; 陳振臺; 蔡志弘; 何宗軒; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 23:4 民95.07 |
頁 次 | 頁269-279 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 倒傳遞類神經網路; 半導體; 蝕刻; 製程終點圖形; 圖形辨識; Back-propagation neural network; Semiconductor manufacturing; Etching process; Endpoint curve; Curve recognition; |
語 文 | 英文(English) |