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題名 | 半導體廠維修作業勞工有害氣體溢散調查=The Evaluation of Hazardous Gases Emission from the Preventive Maintenance Procedure in Semiconductor Factory |
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作者 | 張振平; 宋隆佑; 朱振群; 林宜長; Chang, Cheng-ping; Song, Long-yu; Chu, Cheng-qun; Lin, Yi-chang; |
期刊 | 勞工安全衛生研究季刊 |
出版日期 | 200006 |
卷期 | 8:2 2000.06[民89.06] |
頁次 | 頁205-216 |
分類號 | 555.56 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 半導體工業; 霍氏紅外光譜偵測儀; 金屬蝕刻; 預防保養; Semiconductor industry; FTIR; Metal etching; Preventive maintenance; |