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| 題 名 | 智慧檢測賦能異質整合:AI驅動的半導體先進製程缺陷檢測技術發展=Intelligent Inspection Empowering Heterogeneous Integration: AI-driven Semiconductor Advanced Process Defect Inspection Technology Development |
|---|---|
| 作 者 | 呂建興; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 511 2025.10[民114.10] |
| 頁 次 | 頁6-10 |
| 分類號 | 484.51 |
| 關鍵詞 | 異質整合; 缺陷檢測; 半導體製程技術; Heterogeneous integration; Defect inspection; Semiconductor process technology; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |