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| 題 名 | 碳化矽長晶技術:利用COMSOL模擬分析PVT長晶爐熱場設計=Silicon Carbide Crystal Growth Technology: Analyzing PVT Furnace Thermal Field Design through COMSOL Simulation |
|---|---|
| 作 者 | 徐同洋; 劉子瑜; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 455 2024.11[民113.11] |
| 頁 次 | 頁103-109 |
| 專 輯 | 先進陶瓷技術發展與應用技術專題 |
| 分類號 | 448.65 |
| 關鍵詞 | 碳化矽; 模擬; 多物理耦合; 溫度場; 電感加熱; Silicon carbide; SiC; Simulation; Multiphysics coupling; Temperature distribution; Induction heating; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |