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來源資料
電工通訊
2011:3 2011.09[民100.09]
頁28-35
電機工程
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半導體及其他電子裝置
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題名
CMOS製程相容之微機電電容式麥克風技術
作 者
陳建銘
;
王欽宏
;
李新立
;
黃進文
;
謝佑聖
;
孫上晶
;
書刊名
電工通訊
卷期
2011:3 2011.09[民100.09]
頁次
頁28-35
分類號
448.65
關鍵詞
電容式麥克風
;
駐極體麥克風
;
互補式金屬氧化半導體
;
微機電
;
殘留應力
;
有限元素分析
;
懸吊式
;
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;
語文
中文(Chinese)
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