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題 名 | 半導體製程化學機械研磨污泥零廢棄技術開發成果=Achievements in the Development of Zero-waste Technology for Chemical-mechanical Polishing Sludge in Semiconductor Manufacturing |
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作 者 | 謝雅敏; 周信輝; 謝興文; 王銘隆; 官晉安; 鄭文明; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 441 2023.09[民112.09] |
頁 次 | 頁98-103 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | CMP污泥; 零廢棄技術; 火法冶金; 濕法冶金; 硫酸銅; CMP sludge; Zero-waste technology; Pyrometallurgy; Hydrometallurgy; Copper sulfate; |
語 文 | 中文(Chinese) |