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題名 | GDMS於再生循環製備高純碳化矽材料分析=GDMS Analysis Used for the Preparation and Analysis of High-purity Silicon Carbide Materials in the Recycling Process |
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作者姓名(中文) | 黃百璿; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 441 2023.09[民112.09] |
頁次 | 頁66-77 |
專輯 | 化合物半導體粉體晶錠與晶片材料分析技術專題 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | 輝光放電質譜儀; 化合物半導體材料; 碳化矽; 循環經濟; 高純度; Glow discharge mass spectrometry; GDMS; Compound semiconductor materials; Silicon Carbide; SiC; Circular economy; High-purity; |
語文 | 中文(Chinese) |