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| 題 名 | 超晶格多層薄膜應力模擬分析技術=Stress Simulation Analysis Technology of Superlattice Multilayer Thin Films |
|---|---|
| 作 者 | 林義鈞; 黃智勇; 林士欽; 陳冠州; 李昌駿; 劉彥禹; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 483 2023.06[民112.06] |
| 頁 次 | 頁21-28 |
| 專 輯 | 半導體與光電產業設備技術專輯 |
| 分類號 | 448.65 |
| 關鍵詞 | 應力; 高電子遷移率電晶體; 氮化鎵; Stress; High electron mobility transistors; Gallium nitride; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |