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題名 | 薄膜應力與光彈應力智慧檢測技術=Characterization Technology for Thin Film Stress and Material Internal Stress |
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作者 | 陳柏宇; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 475 2022.10[民111.10] |
頁次 | 頁54-62 |
專輯 | 先進製造與量測技術專輯 |
分類號 | 448.68 |
關鍵詞 | 薄膜應力; 光學量測技術; 光彈法; Thin film stress; Optical measurement technology; Photoelasticity; |
語文 | 中文(Chinese) |