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題 名 | 鎢薄膜機械性質及應力量測 |
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作 者 | 周卓煇; 周士惟; | 書刊名 | 材料科學 |
卷 期 | 27:1 1995.03[民84.03] |
頁 次 | 頁79-82 |
分類號 | 440.23 |
關鍵詞 | 鎢膜; 薄膜應力; 機械性質; 氧化; Tungsten film; Thin film stress; Mechanical property; Oxidation; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本實驗主要在利用彎柄儀探討鎢/矽二層結構在退火熱循環中鎢膜的應 力行為以及氧化反應對鎢膜應力行為的影響,並配合雙基材法計算鎢/矽二層結 構中鎢膜的雙軸向模數(biaxial modulus)和熱膨脹係數。並以歐傑(Auger)表面分 析儀量測鎢膜在氧化後氧化層厚度的變化。由結果顯示氧化反應會導致鎢膜應力 下降且造成表面顏色改變,氧化層厚度會受溫度影響,溫度愈高則氧化層愈厚, 此外氧化層厚度的改變會影響鎢膜外觀的顏色,厚度愈厚則表面顏色愈深。至於 在機械性質方面,所得到的鎢膜的雙軸向模數略小於塊材鎢,而熱膨脹係數則略 大於塊材鎢,與砷化鎵相近。 |
英文摘要 | The stress behaviors of tungsten(W) films coated on silicon(Si) substrates are in-situ measuredduring thermal cycling in air to investigate the effects of annealing and oxidation. The stress behaviors of the W films on gallium arsenide substrates are also studied to determine the biaxial modulus, Ef/(1-υf), and thermal expansion coefficient, α, of these films. Auger profile analysis is used to examine the variation of oxidation thickness. Oxidation on the surface has lead to a decrease in the film stress. Higher temperature leads to a thicker oxidation layer. The color of the films changes with the formation of oxidation layer. A thicker oxidation layer gives a darker appearance. The obtained Ef/(1-νf)is slightly greater and a slightly smaller than those of bulk tungsten. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。