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題名 | 以環保溶液製備電鍍鋁與熱處理AlN鍍膜開發=Development of Electroplated Aluminum in Eco-friendly Solution and the Preparation of AIN Coating with Heat Treatment Thereafter |
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作者 | 彭坤增; 李春穎; 陳聖諺; 吳均賢; 吳灌庭; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 409 2021.01[民110.01] |
頁次 | 頁163-166 |
分類號 | 472.16 |
關鍵詞 | 氮化鋁; 結晶; 非晶質; Aluminum nitride; AIN; RTA; Rapid thermal annealing; Crystalline; Amorphous; |
語文 | 中文(Chinese) |