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題名 | 雷射量測與演算法於精密定位之應用=Laser Measurement and Algorithm for Precision Positioning of Feed Drives System |
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作 者 | 劉東昇; 洪揚; 陳世昌; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 411 2017.06[民106.06] |
頁次 | 頁99-109 |
專輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 雷射干涉儀; 雙回饋; 阿貝誤差; Interferometer; Dual feedback; Abbe error; |
語文 | 中文(Chinese) |