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題名 | 電漿表面處理技術應用於觸控螢幕與平面顯示器產業 |
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作者姓名(中文) | 徐逸明; 王亮鈞; 洪昭南; | 書刊名 | 化工月刊 |
卷期 | 22:5=254 2014.05[民103.05] |
頁次 | 頁134-150 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 電漿表面處理; AP plasma; DBD plasma; Plasma jet; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 表面清潔對許多製造業來說是一個最基本的流程與步驟,但卻對產品良率影響非常大。由於電漿表面處理相對於溶劑清潔有甚多的優點,包括清潔效率強且良率高、可同時進行表面改質(改變表面官能基以提昇表面化學特性)、無溶液漬痕、操作成本低、無有機溶劑排放等環保問題,所以電漿清潔及表面處理已廣泛被許多製造業所採用。本文以在光電產業為例,尤其是液晶顯示器(LCD)與觸控面板產業,討論各種常用的電漿清潔方法,比較不同型式清潔方法的差異。希望讀者對於電漿技術有更深入的瞭解,進一步希望能藉由本文的指引協助使用者選擇適當的電漿清潔方法與設備。因為電漿也應用在各種產業,包括印刷電路板、積體電路晶片封裝、紡織、金屬、玻璃等,希望本文能提供不同產業人士對電漿清潔有深入的瞭解。 |
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