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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
32 2014.11[民103.11]
頁45-51
精密機械工藝
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測定儀器
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題名
MEMS 感測器技術與市場發展概況
作者
邱勝任
;
蔡俊胤
;
陳誌遠
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
32 2014.11[民103.11]
頁次
頁45-51
分類號
471.3
關鍵詞
MEMS感測器
;
微機電系統
;
感測器工業
;
語文
中文(Chinese)
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