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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
50 2023.12[民112.12]
頁18-22
精密機械工藝
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測定儀器
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題名
藉由饋通消除技術於離子液體中實時操作共振式壓電MEMS感測器
作者姓名(中文)
林仲偉
;
李昇憲
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
50 2023.12[民112.12]
頁次
頁18-22
分類號
471.3
關鍵詞
饋通消除技術
;
微機電系統元件
;
MEMS感測器
;
離子液體
;
語文
中文(Chinese)
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