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題 名 | n-Si(100)在氯化膽鹼有機溶液中之電化學蝕刻行為=Electrochemical Etching of n-Si(100) in Choline Chloride/ethylene Glycol Ionic Liquids |
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作 者 | 林景崎; 莊政霖; 賴建銘; 陳譽升; | 書刊名 | 防蝕工程 |
卷 期 | 26:3 2012.09[民101.09] |
頁 次 | 頁117-122 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | n-型(100)矽單晶; 矽蝕刻; 離子液體; 氟化銨; n-type silicon; Silicon etching; Ionic liquid; NH4F; |
語 文 | 中文(Chinese) |