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題 名 | 原子層沉積鍍膜應用技術=Application Techniques of Atomic Layer Deposition |
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作 者 | 許哲誠; 林龔樑; 蔡豐羽; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 363 2013.06[民102.06] |
頁 次 | 頁10-19 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.533 |
關鍵詞 | 原子層沉積; 透明導電薄膜; 奈米結構; Atomic layer deposition; Transparent conductive film; Nanostructures; |
語 文 | 中文(Chinese) |