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來源資料
臺灣奈米會刊
35 2013.11[民102.11]
頁27-35
精密機械工藝
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測定儀器
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題名
應用於高精密振動量測之共光程干涉儀=Common-path Interferometer for High-precision Vibration Measurement
作者姓名(中文)
王永成
;
徐力弘
;
張中平
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷期
35 2013.11[民102.11]
頁次
頁27-35
專輯
奈米量測與檢測
分類號
471.3
關鍵詞
共光程干涉儀
;
振動量測
;
精密機械
;
語文
中文(Chinese)
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