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| 題 名 | 半導體設備產業發展的國際經驗--半導體設備產業研究系列5之2 |
|---|---|
| 作 者 | 劉仁傑; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 223 2001.10[民90.10] |
| 頁 次 | 頁218-226 |
| 分類號 | 484.51 |
| 關鍵詞 | 半導體製造; 半導體產業; 半導體設備產業; 精密機械產業; Semiconductor manufacturing; Semiconductor industry; Semiconductor equipment industry; Precision machinery industry; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |