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來源資料
臺灣奈米會刊
35 2013.11[民102.11]
頁21-26
精密機械工藝
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測定儀器
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題名
以X射線孔隙反射儀量測薄膜孔隙率及孔徑尺寸之量測技術=Porosity and Pore Size Analysis of Porous Thin Films Evaluated by X-ray Porosimetry
作者姓名(中文)
張詠晴
;
葉育姍
;
何柏青
;
傅尉恩
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷期
35 2013.11[民102.11]
頁次
頁21-26
專輯
奈米量測與檢測
分類號
471.3
關鍵詞
X射線孔隙反射儀
;
多孔隙薄膜
;
孔隙率
;
孔徑尺寸
;
量測技術
;
語文
中文(Chinese)
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