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題 名 | 以磁控濺鍍製備Si/CuSi雙層薄膜應用於藍光光碟之研究=Deposition of Si/CuSi Bilayer by Magnetron Sputtering and Its Applications in Blu-ray Disc |
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作 者 | 歐信良; 郭博成; 蔣東堯; 高國陞; 張漢豐; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 25:3 2012.09[民101.09] |
頁 次 | 頁15-21 |
分類號 | 471.6525 |
關鍵詞 | 磁控濺鍍系統; 金屬誘導結晶; 藍光光碟; Magnetron sputtering; Metal induced crystallization; Blu-ray disc; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究以真空磁控濺鍍系統,製備Si(3 nm)/CuSi(16 nm) 雙層薄膜,利用金屬誘導結晶機制降低Si的結晶溫度,並探討此雙層薄膜應用於藍光可寫一次光碟片之記錄層材料的可行性。穿透式電子顯微鏡分析得知,Si(3 nm)/CuSi(16 nm)雙層薄膜在初鍍時具有Cu3Si的結晶相,經過270℃熱處理後會形成Cu3Si和cubic Si二相共存,經過500℃熱處理後,會有cubic Si再結晶的現象,且會有hexagonal Si結晶相形成。將此薄膜製作成藍光光碟並進行碟片動態測試,結果顯示在1倍及2倍的寫入速度下,相對應的最佳jitter值分別為5.2%及5.4%,顯示此薄膜具有應用於藍光可寫一次光儲存媒體的潛力。 |
英文摘要 | In this study, the Si (3 nm)/CuSi (16 nm) bilayer thin films were deposited by magnetron sputtering. We observed that Cu3Si phase formed in the as-deposited bilayer. As the bilayer was annealed at 270 °C, the Si atoms in CuSi film segregated and crystallized to cubic Si in Cu3Si nucle-ation sites. After annealing at 500 °C, the grains size of cubic Si phase increased and the hexagonal Si phase was appeared. The dynamic tests show that the Si/CuSi bilayer has optimum jitter values of 5.2% and 5.4%, respectively for 1× and 2× writing speeds. It indicates that the Si/CuSi bilayer is potentially useful in blu-ray disc. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。