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來源資料
電子月刊
18:11=208 2012.11[民101.11]
頁180-185
電機工程
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電燈;照明電器
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題名
晶圓薄化研磨機之設備簡介及3D IC應用
作者姓名(中文)
賴耀梓
;
黃信富
;
書刊名
電子月刊
卷期
18:11=208 2012.11[民101.11]
頁次
頁180-185
專輯
半導體製程設備
分類號
448.5
關鍵詞
晶圓接合
;
矽導通孔
;
研磨機
;
化學機械研磨
;
研磨液
;
研磨移除率
;
語文
中文(Chinese)
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