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題名 | 利用耦合電容法進行驅動之梳狀靜電致動器=A Comb-Drive Actuator Driven by Capacitively-Coupled-Power |
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作 者 | 張超閔; 王紹宇; 侯帝光; | 書刊名 | 先進工程學刊 |
卷期 | 7:4 2012.10[民101.10] |
頁次 | 頁187-191 |
專輯 | 微奈米暨生醫微機電專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 驅動機制; 電容耦合; 靜電致動器; Actuation mechanism; Capacitive coupling; Electrostatic actuators; |
語文 | 中文(Chinese) |