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來源資料
粉末冶金會刊
37:3 2012.08[民101.08]
頁177-185
合金;冶金
>
合金學
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題名
不同製程製作濺鍍鉬靶之微觀組織差異及濺鍍性質探討
作 者
黃宏勝
;
董寰乾
;
邱軍浩
;
洪胤庭
;
書刊名
粉末冶金會刊
卷期
37:3 2012.08[民101.08]
頁次
頁177-185
分類號
454.7
關鍵詞
濺鍍鉬靶
;
熱均壓
;
燒結
;
軋延
;
濺鍍速率
;
Mo sputtering target
;
Hot isostatic press
;
Sintering
;
Rolling
;
Sputtering rate
;
語文
中文(Chinese)
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