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來源資料
防蝕工程
18:2 2004.06[民93.06]
頁155-162
金屬工藝
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銅工
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題 名
銅/鉭金屬化學--機械拋光過程中之伽凡尼腐蝕之研究=Galvanic Corrosion of Cu/Ta during Chemical-Mechanical Polishing
作 者
陳瑞琴
;
蔡文達
;
書刊名
防蝕工程
卷 期
18:2 2004.06[民93.06]
頁 次
頁155-162
分類號
472.6
關鍵詞
銅
;
鉭
;
化學-機械拋光
;
伽凡尼腐蝕
;
CMP
;
Chemical-mechanical polishing
;
Copper
;
Tantalum
;
Galvanic corrosion
;
語 文
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