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來源資料
電子月刊
18:1=198 2012.01[民101.01]
頁136-153
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題名
以改良式電荷汲引技術量測High-κ金氧半電晶體之邊緣陷阱縱深分布與通道接面可靠度分析
作者
呂君章
;
蔡輔桓
;
張廖貴術
;
書刊名
電子月刊
卷期
18:1=198 2012.01[民101.01]
頁次
頁136-153
分類號
448.552
關鍵詞
電荷汲引技術
;
邊緣陷阱
;
熱載子損傷
;
High-κ
;
語文
中文(Chinese)
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