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來源資料
科儀新知
33:2=184 2011.10[民100.10]
頁58-64
精密機械工藝
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光學儀器
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題名
橢圓偏光儀量測速度的發展=The Development of Data Acquisition Speed in Ellipsometry
作 者
趙于飛
;
王夢偉
;
莊俊逸
;
韓建遠
;
書刊名
科儀新知
卷期
33:2=184 2011.10[民100.10]
頁次
頁58-64
分類號
471.7
關鍵詞
橢圓偏光儀
;
量測
;
語文
中文(Chinese)
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