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題名 | Diamond Film Deposited Directly on Sapphire Substrate by Hot Filament Chemical Vapor Deposition=以熱燈絲化學氣相法直接沈積鑽石薄膜於藍寶石基材的研究 |
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作者 | 蔡宏營; 劉侑明; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 32:1 2011.02[民100.02] |
頁次 | 頁45-51 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 熱燈絲化學氣相沈積法; 鑽石薄膜; 藍寶石基材; Diamond film; Chemical vapor deposition; Sapphire; |
語文 | 英文(English) |