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題名 | 高透光率之奈米鑽石薄膜的成長 |
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作者 | 楊志仁; 陳貴賢; 林麗瓊; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 5:6=47 1999.06[民88.06] |
頁次 | 頁69-81 |
專輯 | 電子材料專輯 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 高透光率; 奈米鑽石薄膜; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 高透光率鑽石薄膜在尖端科技的應用上是各界研究的目標之一,本研究以微波電 漿化學氣相沈積(MPCVD)技術,在石英玻璃上利用特別的基板預處理與生長條件下,可得到 奈米晶體鑽石薄膜。其厚度約為0.5μm時,在700nm處的透光率為82%,且薄膜的平均表面粗 糙度低到61�o。 進一步研究觀察發現,鑽石薄膜的透光率與預處理之鑽石顆粒大小及反應氣體的甲烷濃 度有關。當甲烷比例在13%以下時,利用奈米鑽石粉末預處理所成長的鑽石薄膜之透光率高 於利用微米鑽石粉末預處理的;而當甲烷的比例超過13%時,結果恰好相反的。實驗室更結 合上述方法,發展出二階段成長法。第一階段使用低甲烷濃度的氣體成長,而在第二階段使 用高甲烷濃度的氣體成長。利用此種方法我們得到1μm厚的鑽石薄膜,其在700nm的透光率 達到80%以上,平均表面粗糙度低於100�o以下,其透光率與平滑度較文獻上報導高出許多, 開啟了鑽石在光學薄膜上的應用的可行性。 |
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