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題名 | 熱化學拋光CVD鑽石薄膜的製程研究 |
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作 者 | 王興民; 左培倫; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 242 2003.05[民92.05] |
頁次 | 頁147-153 |
專輯 | 輪磨與精密製造技術專輯 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 化學氣相沉積鑽石薄膜; 熱化學拋光法; Chemical vapor deposition diamond films or CVDD; Thermo-chemical polishing; |
語文 | 中文(Chinese) |