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題名 | CVD鑽石薄膜平坦化技術--熱化學拋光法製程研究 |
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作者姓名(中文) | 邱思齊; 王興民; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 254 2004.05[民93.05] |
頁次 | 頁168-173 |
專輯 | 輪磨與精密製造技術專輯 |
分類號 | 446.895 |
關鍵詞 | 鑽石薄膜; 平坦化; 化學氣相沉積鑽石薄膜; 熱化學拋光法; CVD; CVDD; Chemical vapor deposition diamond films; Thermo-chemical polishing; |
語文 | 中文(Chinese) |