查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
| 題 名 | CVD鑽石薄膜平坦化技術--熱化學拋光法製程研究 |
|---|---|
| 作 者 | 邱思齊; 王興民; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 254 2004.05[民93.05] |
| 頁 次 | 頁168-173 |
| 專 輯 | 輪磨與精密製造技術專輯 |
| 分類號 | 446.895 |
| 關鍵詞 | 鑽石薄膜; 平坦化; 化學氣相沉積鑽石薄膜; 熱化學拋光法; CVD; CVDD; Chemical vapor deposition diamond films; Thermo-chemical polishing; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |