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題 名 | TFT-LCD真空壓合精密對位系統 |
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作 者 | 陳贊宇; 蔡孟勳; 潘文珏; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 17:5=190 2011.05[民100.05] |
頁 次 | 頁82-92 |
專 輯 | 電子工廠自動化專輯 |
分類號 | 448.94 |
關鍵詞 | 真空壓合技術; 真空吸附; 壓電致動器; 量化回授; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 新一代的TFT生產線採用了全新的製程技術—滴下式液晶注入法(One Drop Filling,ODF),較傳統LCD的液晶注入方式更能節省材料成本及生產時間。然而隨著LCD面板尺寸的增加,對於ODF製程中之真空壓合封裝程序之精密對位會變的越來越困難。一般主要會遭遇到兩個問題:(1)如何於真空中對上下玻璃基板進行精密的外形對準;(2)如何於真空中對上下玻璃基板進行均勻施壓貼合,並且不產生框膠破壞或上下板間的偏移。為了解決以上的問題,本研究提出了將靜電吸盤與薄膜施壓法整合而成的一個包含靜電與真空吸附法、平均施壓與快速靜電解除機構,以及最佳可靠度之玻璃基板載出/載入之真空壓合機關鍵組件。另外,使用壓電致動器與QFT回授控制器來完成上下玻璃基板的位置定位。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。