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題名 | 利用溶膠旋轉塗佈法製備高介電常數鈦酸鎳閘極介電層於複晶矽薄膜電晶體之特性分析=Characterization of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors with Nickel-Titanium Oxide Films by Sol-Gel Spin-Coating Method |
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作者 | 吳仕傑; 侯拓宏; 鄧志剛; 莊琇惠; 趙天生; 雷添福; |
期刊 | 電子月刊 |
出版日期 | 20101200 |
卷期 | 16:12=185 2010.12[民99.12] |
頁次 | 頁120-126 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 複晶矽薄膜電晶體; 高介電常數閘極介電層; 鈦酸鎳; 氮化鉭; Poly-Si TFTs; High-κ gate dielectric; NiTiO₃; TaN; |