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題 名 | 奈米加工及其產品應用=Nanomachining and Its Products Application |
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作 者 | 馬寧元; 卓廷彬; 李新中; 黃建龍; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷 期 | 23 2010.12[民99.12] |
頁 次 | 頁60-68 |
專 輯 | 奈米電子 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 奈米加工; 塑性變形; 超精密機械工具; 計量與檢測; 應力-應變比; Nanomachining; Plastic deformation; Ultraprecision machine tools; Metrology and inspection; Stress-strain ratio; |
語 文 | 中文(Chinese) |