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題 名 | 複合光學薄膜應力分析技術=Stress Analysis Technology for Optical Multilayer Thin Films |
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作 者 | 田春林; 賴識翔; 林士欽; 王慶鈞; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 399 2016.06[民105.06] |
頁 次 | 頁67-82 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 多層薄膜應力; 應力模擬; 殘留應力; Multilayer film stress; Stress simulation; Residual stress; |
語 文 | 中文(Chinese) |