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| 題 名 | 奈米光子晶體製程精密定位平臺=Precision Positioning Stage for the Nano Photonic Crystal Processing |
|---|---|
| 作 者 | 覺文郁; 吳家鴻; 段黎黎; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
| 卷 期 | 22 2010.09[民99.09] |
| 頁 次 | 頁19-27 |
| 專 輯 | 奈米光電 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 精密定位平臺; 雷射干涉儀; 壓電平臺; 奈米級定位; Precision positioning stage; Interferometer; Piezo stage; Nanoscale positioning; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |