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題名 | 奈米光子晶體製程精密定位平臺=Precision Positioning Stage for the Nano Photonic Crystal Processing |
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作者姓名(中文) | 覺文郁; 吳家鴻; 段黎黎; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷期 | 22 2010.09[民99.09] |
頁次 | 頁19-27 |
專輯 | 奈米光電 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 精密定位平臺; 雷射干涉儀; 壓電平臺; 奈米級定位; Precision positioning stage; Interferometer; Piezo stage; Nanoscale positioning; |
語文 | 中文(Chinese) |