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題名 | 原子層沉積技術於光電元件封裝之應用=The Application of Atomic Layer Deposition Technology in Optoelectronics Device Package |
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作者 | 王慶鈞; 李侃峰; 曾銘宏; 蔡豐羽; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 326 2010.05[民99.05] |
頁次 | 頁110-117 |
專輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.533 |
關鍵詞 | 光電元件; 可繞式墊子; 原子層沉積; 封裝; 氣體阻障層; Optoelectronics device; Flexible device; Atomic layer deposition; Package; Gas Barrier; |
語文 | 中文(Chinese) |