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題名 | 有機光電元件封裝之原子層沉積製程與設備技術=Atomic Layer Deposition Equipments for the Encapsulation of Organic Electronics |
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作者 | 曾銘宏; 王慶鈞; 蔡豐羽; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 350 2012.05[民101.05] |
頁次 | 頁91-98 |
專輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 原子層沉積; 有機光電; 阻氣薄膜; 封裝技術; Atomic layer deposition; Organic electronics; Gas barriers; Encapsulation; |
語文 | 中文(Chinese) |