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來源資料
黃埔學報
57(工程科學類) 2009.10[民98.10]
頁37-50
金屬工藝
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腐蝕及保護;表面處理
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題名
以離子束濺鍍製備奈米ITO薄膜之研究=The Preparation Nanometer ITO Thin Film by Ion Beam Sputtering Method
作 者
毛世威
;
葉松瑋
;
沈忠雄
;
顏采蓉
;
楊國和
;
書刊名
黃埔學報
卷期
57(工程科學類) 2009.10[民98.10]
頁次
頁37-50
分類號
472.16
關鍵詞
銦錫氧化物
;
非晶質結構
;
穿透式電子顯微鏡
;
ITO
;
Amorphous
;
TEM
;
語文
中文(Chinese)
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