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來源資料
臺灣奈米會刊
20 2010.03[民99.03]
頁37-43
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題 名
奈米噴印成像技術於16奈米世代半導體元件製作的應用=The Application of Novel Nano Injection Lithography to the 16nm Node Devices Fabrication
作 者
陳豪育
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷 期
20 2010.03[民99.03]
頁 次
頁37-43
分類號
448.552
關鍵詞
奈米噴印成像技術
;
微影技術
;
16奈米
;
半導體元件
;
NIL
;
語 文
中文(Chinese)
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