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題 名 | 以射頻磁控濺鍍製備p型類鑽碳薄膜之研究=Characterization of Boron-doped Diamond-like Carbon Prepared by R.F. Sputtering |
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作 者 | 林家綸; 蒲瑞臻; 王錫福; 王錫九; 吳玉娟; 徐開鴻; 宋健民; | 書刊名 | 陶業 |
卷 期 | 28:3 2009.07[民98.07] |
頁 次 | 頁60-69 |
分類號 | 440.33 |
關鍵詞 | 射頻磁控濺鍍; 類鑽碳; 摻雜; Diamond-like carbon; Boron doping; Sputtering; Hall effect; |
語 文 | 中文(Chinese) |