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題名 | 磊晶與非磊晶成長極化面與非極化面氧化鋅薄膜之研究=Investigation of Epitaixal and Nonepitaxial Growth of Polar and Nonpolar Thin Films |
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作者 | 毛世威; 沈忠雄; 葉松瑋; 黃興祿; 甘德新; | 書刊名 | 黃埔學報 |
卷期 | 55(1) 2008.10[民97.10] |
頁次 | 頁77-85 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 奈米晶粒; 離子束濺鍍; 擇優取向; Nanocrystalline; Ion beam sputtering; Preferred orientation; |
語文 | 中文(Chinese) |