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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
20 2008.12[民97.12]
頁19-30
電機工程
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電燈廠
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題名
與CMOS製程相容的微機電垂直探針卡
作者
吳榮根
;
李郭昱
;
許后竣
;
吳昌修
;
黃榮堂
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
20 2008.12[民97.12]
頁次
頁19-30
分類號
448.57
關鍵詞
CMOS製程
;
微機電製程
;
微電鑄
;
晶圓級探針卡
;
MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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