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機械工業
251 2004.02[民93.02]
頁260-269
電機工程
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電燈廠
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題名
晶圓級探針卡簡介=
作者
黃榮堂
;
賴文雄
;
期刊
機械工業
出版日期
20040200
卷期
251 2004.02[民93.02]
頁次
頁260-269
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
晶圓級探針卡
;
微機電技術
;
晶圓針測
;
半導體製程
;
MEMS
;
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