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來源資料
電子月刊
14:4=153 2008.04[民97.04]
頁154-162
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題名
薄膜製程中奈米材料在半導體製程之簡介
作者姓名(中文)
廖怡萱
;
陳世芳
;
謝萬燈
;
書刊名
電子月刊
卷期
14:4=153 2008.04[民97.04]
頁次
頁154-162
專輯
半導體材料專輯
分類號
448.552
關鍵詞
半導體奈米材料
;
奈米點
;
奈米薄膜
;
Semiconductor nano-materials
;
Nanocrystal
;
Nanodots
;
Nanofilm
;
語文
中文(Chinese)
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