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題名 | 鎳金屬奈米點陣與矽晶基材間界面反應之研究=Interfacial Reactions of Nickel Nanodot Arrays on Silicon Substrates |
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作者 | 鄭紹良; 呂紹瑋; 陳暉; | 書刊名 | 界面科學會誌 |
卷期 | 28:1 民95.03 |
頁次 | 頁55-62 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 奈米球微影術; 矽化物; 界面反應; 奈米點陣; Nanosphere lithography; Silicide; Interfacial reaction; Nanodot array; |
語文 | 中文(Chinese) |